Можно ли создать в России высокотехнологичное производство (например МЭМС) европейского уровня? Уложится ли запуск производства в запланированные сроки и бюджет? Будет ли выпускаемая продукция высококачественной и сможет ли поставляться на экспорт? Ответ компании Маппер – да.
Предыстория
Начну с истоков. В 2000 г в Делфте (Нидерланды) на базе Делфтского технологического университета была основана компания Mapper Lithography, основной идеей которой было создание безмасочной электронной литографии высокой производительности. Вкратце смысл технологии следующий: один электронный луч расщепляется на 13 000 лучей, затем каждый из этих лучей отдельно управляется, коллимируется, фокусируется и т.д. специальными электронными линзами, которые представляют собой пластины с огромным количеством сквозных отверстий. Таким образом, ключевым элементом установки является электронно-оптическая колонна из порядка 20-ти различных элементов. Подробнее о принципах работы машины Mapper Lithography можно прочитать в статье BarsMonster «Вероятное будущее производства микроэлектроники: безмасочная многолучевая электронная литография от Mapper Lithography». Мы же остановимся на одной из фраз из этой статьи: «…все эти микропластинки с «дырками» изготавливаются по уже отработанным MEMS техпроцессам на серийных заводах…» которая имеет ключевое значение для всей нашей дальнейшей истории.
Итак, после длительного периода разработок и изготовления опытных образцов, Mapper Lithography подошла к моменту, когда понадобилось много качественных и воспроизводимых элементов электронной оптики. Первоначальные образцы изготавливались в Делфтском университете, но изготовить прототип и доказать работоспособность концепции – это одно, а наладить серийное производство с жёстким контролем качества – это другое, и задачей университета не является. Очевидный следующий шаг – «отработанные техпроцессы на серийных заводах», но тут Mapper Lithography ждал неприятный сюрприз – производителей, желающих изготавливать такие элементы, не нашлось. Во-первых, требования Mapper Lithography к МЭМС элементам электронной оптики оказались слишком высокими для обычных МЭМС производств. Например, точность совмещения отверстий под электронные пучки с уже существующей CMOS логикой должна быть не более сотни нанометров, на обычных МЭМС фабриках в основном используются контактные методы литографии, которые не позволяют добиться точности совмещения существенно лучше микрометра. Во-вторых, Mapper Lithography требовались специально разработанные метрологические установки для контроля качества электронных линз, которые в обычном МЭМС техпроцессе не используются. В-третьих, объемы производства элементов слишком малы (максимум несколько тысяч в год). Таким образом, «отработанные техпроцессы на серийных заводах» не подошли.
Как справедливо решили голландцы, если завод не идет к Магомету, то Магомет строит свой собственный завод. Тут, правда, возник неприятный вопрос: Где деньги, Зин? Нужны инвесторы, найти их можно, но в обмен на инвестиции они хотят большой кусок пирога, особенно в области прав интеллектуальной собственности. Проект практически зашел в тупик, но тут на горизонте появился Роснано с интересным предложением: инвестируем с основным условием, что завод будет построен в России. Обо всем договорились и решение было принято: Mapper Lithography получает МЭМС фабрику спроектированную и построенную под их нужды; Россия получает МЭМС фабрику мирового уровня, технологии, квалифицированные рабочие места и т.д. Как говорят американцы: «win-win situation». Так родилось ООО «Маппер», известное голландцам как Mapper LLC.
Надеюсь, мне удалось ответить на вопрос, который мне часто задают, когда видят нашу фабрику: «А почему в России?»
История создания фабрики Маппер
Следующий вопрос, который я обычно слышу: «И как это все у вас получилось?». Начнем по порядку.
Начальная фаза
После принятия решения о строительстве фабрики в Москве история Маппера разделилась на два параллельных процесса: в Москве и в Делфте. Московская часть Маппера в составе генерального директора и директора по эксплуатации (голландцы), главного бухгалтера и инженеров по эксплуатации (русские) занимались строительством фабрики, а производственный отдел во главе с директором по производству базировался в Делфте и занимался обучением инженерного персонала и выбором оборудования для производственной линии.
Выбор места
Для организации фабрики рассматривалось два варианта: аренда уже готовых чистых помещений или строительство собственных. Рассмотрев различные возможности голландцы пришли к выводу, что наиболее эффективным будет строительство собственных чистых помещений, правда не с нуля а под крышей технополиса «Москва» (бывший АЗЛК «Москвич»). Технополис предоставлял переоборудованные цеха (в которых нужно было возвести только внутренние стены), инфраструктуру (вода, электричество, отопление, канализация и т.д.), удобное расположение, собственный таможенный пост и т.д. Кроме того, под одной крышей собраны разные высокотехнологичные компании, а вместе, как известно, выжить легче.
Строительство фабрики
Строительство началось в ноябре 2013. Фотография иллюстрирует состояние стройки на 28-е ноября 2013 г.
Так 25-го марта 2014 выглядела зона фотолитографии:
Timelapse видео (с 22 ноября по 11 апреля за три минуты) можно увидеть на Youtube:
В июне мы переехали в новый офис, 2-го июня была выпущена первая партия продукции (стеклянные спейсеры, которые в основном не требовали чистых помещений) а 3-го июля состоялось торжественное открытие фабрики в присутствии Собянина и Чубайса:
Видео этого события можно посмотреть здесь. Необходимо отметить, что реальное производство продукции еще не запущено, поэтому в спецодежде допущены послабления.
Голландский период
От окончания строительства фабрики перенесёмся в четырех координатах: из Москвы в Делфт и назад во времени – в 2013 год, точнее, в его начало. Фабрика в Москве только на стадии проектирования, однако работа в Делфте уже кипит – к моменту окончания строительства фабрика должна быть укомплектована как оборудованием, так и квалифицированным персоналом. Подготовка и того и другого происходит в Голландии, в Делфте.
Остановимся ненадолго на технологии, имевшейся в Mapper Lithography на момент создания ООО «Маппер». Как уже отмечалось выше, Mapper Lithography родилась в стенах Делфтского технического университета и, соответственно, всегда имела с ним тесные связи. Поэтому, когда встал вопрос об изготовлении МЭМС элементов электронной оптики, естественным выбором были чистые помещения университета, теперь же университетскую технологию предстояло перенести на производство.
Таким образом, перед нами стояла следующая задача: разобраться в существующей университетской технологии, переложить ее на производственные рельсы и выбрать под эти производственные задачи соответствующее оборудование. Если университетская технология была разработана по принципу «используем то оборудование, которое есть», наша технология строилась по принципу «покупаем то оборудование, которое необходимо для получения качественного конечного результата».
При выборе оборудования очень кстати пришёлся мой опыт – 15 лет работы в европейском полупроводниковом R&D и производстве – сначала в исследовательском центре IMEC в Бельгии, затем на фабрике GlobalFoundries (бывший завод AMD) в Германии. Оборудование выбиралось тщательно: сначала составлялись, обсуждались и утверждались требования к оборудованию, находились потенциальные поставщики (обычно 2-3 компании), проводились демонстрационные эксперименты (обычно с посещением компании-поставщика оборудования), затем из нескольких компаний выбирался поставщик исходя из соответствия требованиям, общего впечатления от компании и цены оборудования. Надо отметить, что на первом месте стояло соответствие требованиям, а не цена. Так, установка глубокого травления кремния была куплена самая дорогая на рынке (конкуренты стоили в два раза дешевле) так как только она удовлетворяла жестким требованиям к производству элементов. Кроме того, производитель специализировался на изготовлении оборудования для производства, тогда как конкурент – на изготовлении оборудования для университетов и научных центров. С другой стороны, не смотря на отсутствие компромиссов в области качества, путем оптимизации линейки оборудования и грамотным проведением торгов при наличии нескольких потенциальных поставщиков все оборудование было закуплено не то чтобы с превышением бюджета, а даже с 15% экономией (отмечу, что сэкономленные деньги были истрачены на строительство чистых помещений, так как они, как раз, обошлись дороже, чем изначально планировалось).
Параллельно с выбором и закупкой оборудования наши инженеры проходили стажировку в Mapper Lithography. Так как оборудование мы закупали в основном отличное от того, что имелось в наличии в Делфте, цель заключалась не в обучении работе с оборудованием, а в понимании того, что должно получиться в качестве конечного продукта. Кроме того, необходимо было усвоить бизнес-процессы, используемые в головной компании — как составляются отчеты, как принимаются решения и т.д.
Много внимания уделялось планированию запуска фабрики. На каждую единицу оборудования был составлен список необходимых действий (по несколько сотен пунктов) – как у пилотов перед взлетом – которые необходимо было выполнить прежде чем оборудование будет готово к работе. В итоге тщательное планирование оправдало себя – все поставки оборудования были выполнены в срок, запуск оборудования занял около двух месяцев (за исключением отдельных единиц оборудования, с которыми приключились плохо прогнозируемые проблемы типа банкротства производителя).
На момент моего прихода в компанию (май 2013) в наличии имелось три инженера, главный бухгалтер и генеральный директор. К моменту запуска фабрики (май 2014) Маппер насчитывал 15 инженеров, прошедших стажировку в Голландии.
Запуск фабрики
Благодаря тщательному планированию, запуск фабрики прошел без особых эксцессов, если не считать банкротства одного из производителей оборудования – хорошо, что он успел оборудование произвести и частично запустить, но доделывать пришлось самим с привлечением сторонних компаний.
Слаженная работа команды позволила произвести первый кремниевый элемент (проекционную электронную линзу) в августе 2014. С момента распаковки первой технологической установки прошло 4 месяца.
Сегодняшний день – возможности фабрики
На сегодняшний день наша фабрика представляет собой практически полную производственную линейку для изготовления современных МЭМС на 100 мм пластинах. У нас есть следующее технологические возможности:
- литография (разрешающая способность до 300 нм, возможность совмещения лицевой и обратной стороны пластины)
- плазмохимическое травление (включая глубокое травление методом Бош)
- осаждение диэлектрических и металлических пленок
- высокотемпературное окисление
- жидкостная химобработка
- метрология (как стандартная, так и специализированная, разработанная Mapper Lithography)
Почти все установки роботизированы – пластины из кассеты подаются на обработку роботами.
Мы освоили производство почти всех элементов электронной оптики, необходимых для Mapper Lithogrpahy, сейчас занимаемся разработкой техпроцесса для последнего оставшегося элемента – электрода, управляющего электронными лучами. Сам электрод производится контрактным производителем пластин, наша задача – протравить с высокой точностью сквозные отверстия для прохода электронных лучей не испортив при этом исходный чип.
Первоначальные надежды на то, что наша фабрика сможет выпускать какую-то продукцию помимо элементов электронной оптики для головной компании, не оправдались. Спрос на российском рынке чрезвычайно низкий, кроме того контрактные производители пластин, которыми мы являемся, не востребованы – всем нужны готовые приборы, а компаний, которые могут делать такие приборы из готовых пластин – нет. Но это тема для отдельной статьи. Пока помимо наших основных заказов мы изготовили только одну партию акселерометров из 10 пластин.
Заключение
Мы часто слышим: «Ну вот запустили вы свою микроскопическую фабрику, создали 30 рабочих мест, для нашей экономики это капля в море». В принципе да, с точки зрения российской экономики мы ничтожны. Но наша заслуга в другом. На своем примере мы показали, что в России вполне возможно создать высокотехнологичное производство европейского уровня. Что деньги не разворуют и запуск не затянется на долгие годы. Что российская компания может работать с высоким качеством исполняя все контрактные обязательства вовремя. Что надпись «Сделано в России» может вызывать не кривую усмешку, а гордость.
Комментарии (61)
Calvrack
15.04.2016 11:40А вас устраивает время работы таможни и скорость прохождения образцов и оборудования, скорость его лицензирования на криптографию и прочее в ФСБ. Или — «у нас есть Брокер, мы ему Платим, и он как-то Делает… а как — это его личное дело».
CorneliusAgrippa
15.04.2016 11:43+1Иногда мы работаем с брокерами, но чаще таможим сами. Таможня — это отдельная головная боль. С лицензированием на криптографию не сталкивались.
remingthon
15.04.2016 11:44-4Меня вот мучает вопрос, а кто инвестор? Потому что если инвестор «забугорный», то надпись Сделано в России все так-же будет вызывать усмешку…
IronHead
15.04.2016 11:51+1То есть, правильно ли я понимаю, что в текущем виде в существующих российских реалиях — ваша фабрика выпускает только МЭМС оптику по сути для самой себя и больше пока что ничего?
Если так, то может быть есть проработки в сторону корпусировки и выпуску компонентов на базе вашей же фабрики? Или может Роснано проинвестировало еще одну компанию, которая будет забирать у вас пластины, резать их и запихивать в корпуса?
Пока что я не вижу экономической выгоды для Роснано, тем более вложены были не малые деньги (сколько, если не секрет?)CorneliusAgrippa
15.04.2016 12:11Пока да — выпускаем МЭМС оптику для самих себя. Нам самим развивать корпусировку смысла нет — это дорого, а много денег мы на этом не заработаем. Весь мир движется в сторону разделения процессов — скажем, Qualcomm проектирует чипы, делает их TSMC и GlobalFoundries, корпусирует не знаю кто, а потом это все оказывается в очередном айфоне. Поэтому второй вариант — инвестиции в компанию, которая будет выпускать приборы, выглядит более интересным. Такая компания может заказывать что-то в Китае, что-то в Европе, что-то у нас и вполне неплохо существовать.
Для Роснано выгода следующая — было ивестерировано 20 млн евро, в голландскую компанию Mapper Lithography, как только они начнут продажи литографических машин нового поколения (во многом благодаря тому, что мы изготавливаем ключевые элементы на промышленной основе) ценность голландской компании резко вырастет и Роснано продаст свою долю, оставшись в прибыли.leonf08
15.04.2016 14:44День добрый!
Советую обратить внимание на завод GS Nanotech, который находится в городе Гусев Калининградской области. Компания предоставляет услуги корпусирования микросхем. Полный цикл, начиная от резки пластин и заканчивая упаковкой.
Avitale
15.04.2016 11:54Спасибо за статью! Работаю в УК Технополиса, было неожиданно вас тут увидеть. Удачи в работе и дальнейшем развитии!
DikSoft
15.04.2016 12:14-7Можно-то оно, конечно, можно. Только зачем?
Чтобы завтра закрыться из-за того, что кому-то вдруг понадобилась именно эта земля и вас выперли на «законных» основаниях без выплаты компенсации?
IMHO имеет смысл только если разница в стоимости запуска здесь или в нормальной стране такова, что на неё можно спокойно открыть ещё одно производство «по соседству».CorneliusAgrippa
15.04.2016 12:25+16Мне знакома позиция, подобная вашей. Когда все только начиналась, точно так же мне сазали очень многие мои знакомые — ничего не получится, вас закроют, деньги разворуют и т.д. Я не послушал — и все заработало. А по принципу «ничего нет смысла делать, потому что ничего не получится» у нас пол страны живет (если не больше). Поэтому ничего и не получается.
DikSoft
15.04.2016 12:43-3Я не пишу «ничего не получится», я пишу, что неоправданно высок финансовый риск всё неожиданно потерять, даже что-то сделав.
Вам пример полей Тимирязевской академии ни на что не намекает?Xyntallar
15.04.2016 13:57+2и много производств закрыли в этой стране из-за проблем с землей?
HiMem-74
18.04.2016 10:46Живу в Челябинске, поэтому примеры по нашему городу: Челябинская ткацкая фабрика (центр города, сейчас там, офис Газпрома и банки), часовой завод Полет (центр города, ТРК), радиозавод Полет (элитная недвижимость), Челябинский инструментальный завод (ТК).
Это что навскидку вспомнил.
SADKO
17.04.2016 19:09Перечитайте статью ещё раз, здесь все финансовые риски берёт на себя роснано!
DikSoft
17.04.2016 22:42-1Я внимательно прочитал статью и с первого раза.
Ответ относится к главному вопросу: можно ли в нынешней России построить хай-тек производство. Ответ: можно, но не имеет смысла.
Что касается «инвестиций» Роснано, надеюсь ни у кого нет иллюзий, что это государственные средства, а не мифические «частные инвестиции»?
Понтов ради можно и зимнюю олимпиаду в субтропиках провести, только вот зачем?
iShatokhin
18.04.2016 11:29Понтов ради можно и зимнюю олимпиаду в субтропиках провести, только вот зачем?
Это выбор МОК. Зимние Олимпийские Игры стараются проводить в городах с мягким климатом и со снегом в горах. Посмотрите широту Солт-Лейк-Сити или Нагано.
Карта Зимних Олимпийских Игр
DikSoft
18.04.2016 12:51Спор о целесообразности выбора места проведения зимних игр именно в Сочи грозит перерасти в политику, что здесь не принято. Просто по аналогии посмотрите на эффективность использования средств. Ввалено немеряно денег, якобы частных, а на деле государственных (см. последние данные по компенсации ВЭБ за счёт заморозки пенсионных средств, например).
Практически та же картина и с этим производством. Сделаны инвестиции, показали всем, что «построить в РФ можно всё». Дальше — то же самое. Прибыли или нет, или неизвестно кто её получит.
Иностранным инвесторам такая схема не подходит точно. Нашим частным — тем более. Единственный плюс — рабочие места на некоторое время для наших специалистов.iShatokhin
18.04.2016 12:55+1Я всегда избегаю политические споры, просто ответил на ваш (риторический) вопрос. В 2018 Олимпиада будет проведена еще южней, так решили в МОК.
rPman
17.04.2016 00:01Огромной вам удачи, надеюсь наличие 'такого' инвестора вас защитит в будущем, когда 'все получится'.
anttoshka
15.04.2016 13:28Из статьи не понял какой смысл был в постройке производства, если нет заказчиков? Построить просто чтобы освоить деньги? Есть хотя бы надежды на будущие контракты?
encyclopedist
15.04.2016 13:31+2Заказчик есть, это материнская нидерландская компания Mapper Lithorgaphy. Речь же идет о поиске дополнительных сторонних заказчиков.
CorneliusAgrippa
15.04.2016 13:32+4Что значит нет заказчиков? У нас есть заказчик — голландская компания Mapper Lithogrpahy, мы производим продукции на 3 млн евро в год. Просто мы бы могли что-то еще делать дополнительно для российских заказчиков, но пока их не нашли.
SADKO
17.04.2016 19:17А объём инвестиций Роснано каков?
Я понимаю, технология интересная, и инвестиция скорее стратегическая, но всё же интересны расчётные экономические показатели этого производства и Mapper Lithography если Роснано имеет там значительную долю…
BarsMonster
15.04.2016 13:49+1Интересное продолжение от первоисточника :-)
Например, точность совмещения отверстий под электронные пучки с уже существующей CMOS логикой должна быть не более сотни нанометров
При производстве MEMS фоторезист остается фоторезистом… Не получилось бы экспонировать на современных DUV сканерах с ошибкой совмещения в 10нм, проявлять, а потом везти на травление на эти MEMS фабрики?CorneliusAgrippa
15.04.2016 13:57+1Нам такой точности достаточно. Кроме того, нам нужен толстый резист, на DUV сканерах он обычно тоньше. Да и лишняя логистика процесс далеко не упрощает. Плюс маски для сканеров гораздо дороже.
Telegazik
15.04.2016 14:34Я одного не понял — на окупаемость фабрика планирует выйти и если да, то что для этого нужно/когда?
CorneliusAgrippa
15.04.2016 14:39+3Тут сложно говорить об окупаемости нашей фабрики, скорее об окупаемости всего проекта Mapper Lithography в целом, частью которого мы являемся. Голландцы тратят на нашу фабрику столько денег, сколько нам нужно, а мы производим столько элементов, сколько им нужно, в этом смысле мы не являемся независимой компанией. Голландцы пока живут на деньги инвесторов, продажи начнутся в конце этого года, цель выхода на самокупаемость (break even) где-то через 2-3 года.
khim
15.04.2016 15:03+2Обязательно отпишитесь когда будет ясно — «как оно там». В том, что завод можно построить — ни у кого сомнений не возникало никогда.
С современными технологиями можно хоть завод по переработке кактусов в трёхступенчатые ракеты с последующим запуском их на Луну где-нибудь в пустыне отстроить.
А вот вопрос: удастся ли потом кому-то эти ракеты продать — вот он как раз ключевой…
SADKO
17.04.2016 19:402-3 года это нормально, но какова в этом доля Роснано?
SADKO
17.04.2016 19:54Вики говорит про 40 миллионов евро со стороны Роснано и столько-же со стороны прочих фондов и частников.
А сайт Роснано говорит об общей стоимости проекта в 13,2 деревянных лярдов из которых только 1,6 лярдов Роснано!
ctapnep
21.04.2016 20:00В фабрику вложено 20 лимонов, делаете вы продукции на 3 лимона в год. Еще сколько-то у вас операционных расходов. Итого — фабрика раньше, чем через 10 лет никак не окупится. Весь проект — может и окупится через 2-3 года, но не фабрика.
В общем, для вас-то всё хорошо, но оно хорошо только потому, что в проект вложило бабло государство.
GarryC
15.04.2016 15:47+2Если позволите, короткое резюме:
Роснано дало голландцам деньги, они на эти деньги построили в РФ небольшую фабрику из импортного оборудования и на эти же деньги закупают производимую фабрикой продукцию, которая больше никому не нужна.
Все это сделано для того, чтобы голландская фирма встала на ноги, превратилась в самоокупаемую, и тогда можно будет вернуть свои вложения с прибылью.
Итого — во-первых, не очень понятно, где тут поводы для гордости?
И, во-вторых, это далеко не первый проект Роснано, реализуемый подобных методом, и, пока что, все они оканчивались финансовым крахом и списыванием затрат в убытки.
Поэтому, в-третьих, какие основания полагать, что на этот раз все пойдет по-другому?
CorneliusAgrippa
15.04.2016 16:15+3«пока что, все они оканчивались финансовым крахом»
Вот несколько примеров работающих заводов, в которые инвестировал Роснано:
Фармсинтез — производство уникальных препаратов для лечения онкологических заболеваний и рассеянного склероза.
Даурия — специализируются на разработке и создании микро- и наноспутников и оборудования для них.В 2015 г два микроспутника частной космической компании «Даурия Аэроспейс» отметили год функционирования на низкой околоземной орбите.
Акрилан — крупнейший в России производитель водных дисперсий полимеров.
Здесь полный список портфельных компаний
Понятно, что не все, во что инвестирует Роснано, работает — это венчурные высокорисковые инвестиции. Но есть довольно много примеров работающих компаний. Хотя с дивана, конечно, виднее.GarryC
15.04.2016 16:32+2К полному списку портфельных компаний неплохо было бы приложить сводную таблицу со следующими графами:
Стоимость компании до прихода Роснано, вложения Роснано, стоимость компании на текущий момент, текущиефинансовые результаты (оборот компании, прибыль компании), стоимость части компании, принадлежащей Роснано по текущему состоянию, прибыльность вложений с учетом сопутствующих факторов. В конце данной таблицы подвести итог. Тогда есть предмет для обсуждения.
Ну, по крайней мере, с дивана мне так кажется, хотя у особ, приближенных к телу, может быть другое мнение и мне совершенно понятны побудительные мотивы.
И так, между прочим, среди указанных Вами компаний ни одна по схеме, мною описанной, создана не была, там было вложение в уже существующие предприятия РФ.exfizik
15.04.2016 22:53+2Человек рассказывает про свой опыт, а не обзор Роснано делает. Вам надо, вы и ищите данные, делайте таблицу с графиками. Или Чубайса попросите.
GarryC
15.04.2016 23:17Идея интересная, я бы попросил, но, боюсь, он не согласится.
А так, вообще то, мне не особо и надо. Я просто в комменте коротенько описал ситуацию вокруг этого завода, как она мне видится, мне человек сказал, что не все так плохо, как мне кажется, намекнул на диванную аналитику, ну я и попросил аргументы в студию. Нисколько не удивлюсь, если их не будет.
Barefoot
19.04.2016 16:17Ну вот, заинтересовавшись, залез. Нашел МСФО.
> В том числе на 16,8 млрд рублей выросла справедливая стоимость инвестиционного портфеля. Доля содержательного роста в этом показателе составила 53% против 10% годом ранее. В то же время, эффект от курсовой разницы снизился с 90% до 47%.
http://www.rusnano.com/about/press-centre/news/20160323-rosnano-demonstriruet-rost-pribili
Тут важно понимать, что инвестфонды живут в парадигме стоимости всего портфеля в совокупности. Т.е вроде как если неудачи есть — то это нормально, т.к. они могут составлять какой-то процент от общего портфеля. Насколько этот показатель у роснано на уровне — не знаю. Но — удивитель — не в убытках, хотя много про эти убытки слышал/читал.
igor_kuznetsov
16.04.2016 16:13+1а вы можете рассказать про пол на видео? очень интересно, куча слоев. что там за слои?
Tiberius
17.04.2016 00:21+1Наконец-то, отличные новости пришли!!!
А можно про источник электронов подробнее рассказать, если не военная тайна, конечно? В итоге, это будет стандартный LaB6 или полностью полевая эммисия и, собственно, одно острие или множество?
Плюс, получив опыт, что там со временем экспозиции на пластину и финальным разрешением?CorneliusAgrippa
18.04.2016 12:27+2Про источник электронов сказать не смогу — я в этом не разбираюсь. Наша задача — производство МЭМС из кремния, это совсем другое. Сейчас лучшее время экспонирования 300 мм пластины — один час, первая серийная машина будет, скорее всего, с производительностью 0.5 пластин/час, потом будет upgrade до 1 пл/час. Цель — 10 пл/час, но это будет через некоторое время, точный проноз давать не берусь.
Tiberius
19.04.2016 11:00А один час это на один «такт» или на полный цикл и остальное — дело металлизации?
Tiberius
19.04.2016 11:03PS: Вам всё же виднее у кого и что спрашивать, но было бы жутко интересно — по крайней мере мне — послушать про устройство источника электронов и как пучкок будет делиться на несколько. Быть может найдётся специалист, который захочет и сможет написать про это;)
CorneliusAgrippa
20.04.2016 15:07+2Узнал про источник электронов — технология куплена у Филипс, использовалась в ЭЛТ, с некоторыми доработками (например, подогрев катода не резистивный а второй электронной пушкой) используется в качестве генератора луча. Если интересны подробности — посмотрите в Google Patents «Mapper Lithography».
За час прописывается один слой, потом остальные шаги и т.д. Для изготовления, например, процессора нужно несколько десятков слоев литографии, но менее критичные (где маски дешевле) можно делать на обычных фотолитографических машинах — они гораздо быстрее.Tiberius
21.04.2016 23:29+1Спасибо!
Маленькая поправочка — это называется полевая или автоэмиссия. Понятненько, у неё параметры получше, конечно же будут, чем у термополевой.
За проходы тоже понял — медленноватенько, конечно, но что поделать — это всё-таки direct writing.
EqualsZero
18.04.2016 10:33Расскажите, пожалуйста, чем занимается инженерный состав? Поддержкой оборудования или разработкой элементов?
Есть ли вне России другие потенциальные потребители элементов электронной оптики или если Mapper Lithography не взлетит, то все закончится?CorneliusAgrippa
18.04.2016 12:29+1Инженерный состав занимается выпуском элементов, переносом технологии из университета на производство. Других потенциальных потребителей электронной оптики мы вряд ли найдем, но мы можем производить другие МЭМСы. Сейчас общаемся с несколькими потенциальными заказчиками из Европы, может в России что-то найдем.
gapel
18.04.2016 12:43Во-первых, молодцы. Во-вторых, а почему вы зациклились на российском рынке? Не было попыток искать покупателей за европейском рынке? Хотя я так понимаю вопрос не совсем к вам, а к вашим менеджерам.
alman
21.04.2016 17:26Насколько можно понять из статьи, ваша компания производит электронную оптику, являющуюся компонентом для литографического оборудования. Планируете ли со временем обзавестись самим оборудованием от родительской компании? Если да, то какие возможности это откроет для вашей компании?
CorneliusAgrippa
25.04.2016 13:37Оборудование от родительской компании нам, в принципе, не нужно — оно заточено под нанометровые размеры, а нам нужны микронные ( часто десятки-сотни микрон), это все равно, что покупать электронный микроскоп для разглядывания мелкого текста.
webzuweb
«Как закалялась сталь», «Как окислялся кремний»…
Интересная статья, описывающая интересный опыт.
А кто являются Вашими (потенциальными) заказчиками в России. Как оценивается этот рынок?
CorneliusAgrippa
Потенциально мы можем делать небольшие партии МЭМС, например для космоса, или для авиации — где не нужны большие объемы, цена не принципиальна (которая снижается большими объемами), но есть какие-то особые требования, то есть такие заказы, за которые не берутся большие заводы. Проблема в том, что мы не можем сделать конечный прибор — у нас нет ни дизайн-центра, ни корпусировки. Обычно во всем мире этим занимаются разные компании, но у нас их нет…
Seven-ov
А что мешает этим заняться? Хотя бы в качестве эксперимента.
10s
Я не эксперт, но, как мне кажется, проблема в цене.
rPman
O1eja
Вот идею для космоса я бы очень поддержал. Вы общались с кем либо в Лавке, напртимер, на эту тему? А то уже у нас был марс-экспресс, который висанул на отлётной орбите. Одна из возможных причин — как раз память!
amartology
А какое от отношение МЭМС к памяти имеют?
И да, МЭМСы для космоса в России уже делаются, и там неплохая конкуренция.